上海解普科技，全自动膜厚测量仪，可搭配二轴运动平台，X120mm,Y120mm,对被测物进行膜厚测量。集成的进口氙灯，光谱范围200-2500nm，可连续使用5年，稳定性 > 99.99%。测量系统对样品进行无损、快速、高精度测量，可用于薄膜等多行业的厚度测量。

全自动膜厚测量系统亮点

对样品进行无损、快速、高精度测量，可用于反射率、透射率、膜厚等参数测量。广泛应用于光学镀膜、半导体薄膜、液晶显示、薄膜层和生物医学等厚度的测量方案中。

1. 可选二轴运动平台，X1000mm, Y1000mm，精度2um

2. 光源由闪烁氙灯组成，光谱探测器由日本滨松进口，高精度低噪声，2048个光学通道，更加精密的光学测量

3. 可以mapping成像，绘制整个薄膜的整体厚度曲线

4. 软件内置强大测量分析管理软件，可根据客户要求进行测自定义测量方案

全自动膜厚测量系统优势

350-950nm高分辨率反射测量系统

可测膜厚1um-100um

二轴带运动补偿的电机平台，X120mm, Y120mm,精度1um或者可选 X1000mm, Y1000，精度5um

支持mapping扫描，可成像，可对区域内的膜厚进行梯度成像

扫描时间100mm*100mm，总共需4分钟

支持SDK，易于集成到您的系统中

反射率测量系统规格

采集控制软件

SpectrumFactory是一款专业光谱处理软件

软件支持

1. 透反射模式，玻璃或者透明物的透反射率

2. 拉曼模式，可联合激光器，测量拉曼光谱

3. 浓度模式，可联合氙灯，测量紫外波长下的，吸光度，从而根据朗伯比尔定律，测得液体浓度

4. 全自动电机平台控制，支持一轴电机，二轴电机，三轴电机，显微镜电机，自动对焦，支持摄像头，支持拼谱显示，支持运动控制，如圆弧采集，S型加减速等

5. X轴时序测量模式，可联合汞氩灯测试X轴稳定性，

6. Y轴时序测量模式，可联合激光器测试激光中心波长稳定性

7. 显微模式，可联合电机平台，测得高光谱图像， 支持透反射高光谱，和拉曼高光谱

8. LIBS模式，可联合1064 Nd-YAG激光器，测得金属成分

9. 膜厚测量，可测量5um – 100um薄膜厚度

10. 分光测色，可测量XYZ, Lab, Yxy, HSV, LCH, RGB等参数

11. 在线测量，可远程控制光谱仪测量数据

12. 均匀性测量，可测试样品的分布均匀性，包括药品颗粒的均匀性，或者LED灯光的均匀性

超强稳定性

作为一款工业级光谱仪，稳定性是最重要的技术指标，整机的稳定性，由光谱仪稳定性 + 光源稳定性共同组成

光谱仪稳定性

光谱仪光强稳定性>99.99%

光谱仪波长准确性 +/- 0.5nm

光谱仪波长温度稳定性

光谱仪波长重复性

卤素灯稳定性> 99.9%

整机稳定性实测图

稳定性极佳，预热15分钟后，卤素灯稳定性>99.9%,整机稳定性大于99% (8小时实测)

电动平台

搭载二轴自动平台，行程X 120mm, Y 120mm, 行程可定制，最大X1000mm, Y1000mm.搭配程序可实现Mapping扫描，自动平台精度2um， 重复性5um, 光斑大小1mm

高光谱成像

全自动膜厚测量搭载平台，结合软件算法实现高光谱成像。测量平面上不同区域的膜厚指数，光谱配合电机算法实现Mapping，实现高光谱图像

膜厚测量原理

从光源发出的宽波长频带光经由光纤并穿过传感头照射目标物。一部分光在表面反射，透过的光则在目标物背面反射后返回感测头内。2条反射光在每种波长上发生干涉，干涉光大小由参照面到目标物的距离决定，当正好成为波长的整数倍时成最大值。干涉光被分光器按照不同波长细分，可从 CCD 受光波形获取光强度光谱分布。通过对光强度光谱分布进行FFT处理等波形分析，即可算出到目标物的距离。

膜厚测量案例

薄膜厚度测量案例，使用200-800nm氙灯激发，可测得次膜厚为1.96um