用光谱仪测量单层薄膜的厚度原理

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使用光谱仪可以轻松测量单层薄膜的厚度。然而，请注意，这仅适用于约 0.3 至 60 μm 范围内的膜厚，并且需要膜材料的折射率来进行测量。

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首先，我将解释膜厚测量相对于反射测量的原理。当光线以一定角度入射到薄膜上时，入射面（A）反射的光和相对面（B）反射的光之间存在干涉，如图1所示，波状干涉光谱如图1所示。 2 已创建。计算特定波长范围内的干涉光谱中的峰（或谷）的数量可以使用表达式（1）计算膜厚度。

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如图 3 和图 4 所示，波形的间距越薄的薄膜越长，越厚的薄膜越短。

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图3 膜厚：10 μm（聚偏二氯乙烯膜）/图4 膜厚：46 μm（聚碳酸酯膜）

如果薄膜位于不透明基材（例如晶片）上，则使用反射测量来测量其厚度。如果薄膜在透明基材上，或者如果仅对薄膜本身进行分析，则可以使用透射测量来测量其厚度。在薄膜厚度测量中，薄膜表面必须清洁并具有镜面光洁度。对于表面粗糙的样品，无法进行测量。

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