薄膜厚度检测仪器

全自动二维膜厚测量系统

Hightlight:
二轴膜厚测量系统
可见光和近红外波段
搭配长寿命闪烁氙灯
可测量透明薄膜或者反射铝膜
  • 产品介绍

全自动半导体膜厚测量系统 可见光


膜厚测量一般根据白光干涉原理, d = (wave2 - wave1)/deltaWave * K , 其中wave指的是波长,deltaWave指双峰的波长差,K指折射系数


一般白光干涉膜厚测量,只能测试较薄的薄膜,1um - 100um, 其中,1um的薄膜需要用到紫外光 200nm波段左右,10-50um的用到可见光500-600nm波段,而较厚的薄膜80um左右用到红外光800nm波段。白光干涉一般不使用与测超过100um的薄膜,超过100um,建议使用游标卡尺测量。


一般透明的薄膜,我们用透射测量膜厚,而不透明的膜,比如半导体刻蚀中用的光刻胶或者透镜上使用的铝反射膜,我们使用反射进行膜厚测量


搭配X-Y电机,可实现全自动平面膜厚测量系统,行程150mm * 150mm, 最大行程1000mm * 1000mm(可定制)


下图是使用SPM3紫外可见近红外光谱仪,进行膜厚测量的高光谱图,蓝色区域是较薄的地方,红色区域是较厚的地方


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抖音视频演示

https://www.douyin.com/user/self?modal_id=7363167072077057280


B站的视频演示

https://www.bilibili.com/video/BV1sH4y1V7CD/



根据白光干涉原理,测量半导体膜厚

集成的可见光光谱分析仪

集成的卤钨灯/或者长寿命氙灯作为光源,宽光谱,长寿命

反射式探头


可以实现薄膜厚度测量

半导体镀膜厚度测量

眼镜镜片膜厚检测



应用举例一:膜厚测量案例

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测试系统搭建如上图


1. 左边是卤钨灯350-2500nm光源,光源由德国进口的灯泡,或者长寿命氙灯

2. 反射式探头

3. 右侧是采用日本进口滨松探测器的光谱仪器 SPM3-350-1050,波长范围350-1050nm,分辨率最小0.6nm,美国产进口600线光栅,或者搭配SPM3-200-800波长范围200-800nm(关注紫外部分测试)

4. 搭配电脑,数据通过USB采集


应用举例:镜片镀膜,铝膜的厚度,厚度在1-10um,搭配氙灯,在紫外波段,使用反射法进行测量


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应用举例:塑料透明薄膜的厚度,厚度在20-80um,使用透射法进行测量


测试过程

1. 关闭光源,采集光谱设备电子噪声

2. 打开光源,设置500ms曝光时间,放置白板,采集参比光谱

3. 移除白板,放置被测物,采集被测物光谱,



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根据峰峰的间距和入射波长,我们可以计算出镀膜的厚度





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